一.机械结构引起的抖动可分为两种情况：
1)空载抖动：
a.电动机基础不牢、刚度不够或固定不紧。
b.风扇叶片损坏，破坏了转子的机械平衡。
c.机轴弯曲或有裂纹。可通过紧固螺钉、更换风扇叶片、更换机轴等办法解决。
2)如果加负载后抖动，一般是传动装置的故障引起，可判断以下部位存在缺陷：
a.胶带轮或联轴器转动不平衡。
b.联轴器中心线不一致，使电动机与所传动的机械轴线不重合。
c.传动胶带接头不平衡。可通过校正传动装置使之平衡等办法解决。
二.速度环问题引起的抖动：
速度环积分增益、速度环比例增益、加速度反馈增益等参数不当。增益越大，速度越大，惯性力越大，偏差越小，越易产生抖动。设定较小的增益可维持速度响应，不易产生抖动。
三.伺服系统的补偿板和伺服放大器故障引起的抖动：
电机运动中突然掉电停止，产生很大抖动，与伺服放大器BRK接线端子以及设定参数不当有关。可增加加减速时间常数，用PLC缓慢启动或停止电机使之不抖动。
四.负载惯量引起的抖动：
导轨和丝杆出现问题引起负载惯量增大。导轨和丝杠的转动惯量对伺服电机传动系统的刚性影响很大，固定增益下，转动惯量越大，刚性越大，越易引起电机抖动；转动惯量越小，刚性越小，电机越不易抖动。可通过更换较小直径的导轨和丝杆减小转动惯量从而减小负载惯量来达到电机不抖动。
五.电气部分引起的抖动：
a.制动没打开，反馈电压不稳等因素引起。检查制动是否打开，通过加编码器矢量控制零伺服功能，采用降力矩的方式输出一定的的转矩解决抖动。反馈电压不正常应先检查振动周期是否与速度有关，若有关，则应检查主轴与主轴电机的连接方面是否有故障，主轴以及装在交流主轴电机尾部的脉冲发生器是否损坏等，若无关，则应检查印刷线路板上是否故障，需要查看线路板或重新调整。
b.电动机运行中突然抖动，大多是缺相造成的，应重点检查熔断器熔体是否熔断，开关接触是否良好，并测量电网各相是否有电。