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4轴真空直驱双臂Q型晶圆搬运机器人

型号： AHY系列

  • 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境

  • 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性

  • 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度

  • 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

  • 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）
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  • 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性

  • 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度

  • 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

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